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91反差在线工程按工藝特點、空氣潔淨度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等。電子工業潔淨廠房宜采用混合流91反差在线。對空氣潔淨度要求嚴格時,宜采用微環境型式。91反差在线按氣流流型分為單向流91反差在线、非單向流91反差在线和混合流91反差在线。
電子潔淨廠房潔淨區各層專用消防口的設計,應符合現行國家標準潔淨廠房設計規範的有關規定。電子潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。微粒、對產品質量有害的雜質、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等。
在91反差在线的入口處宜設空氣吹淋室,當不設空氣吹淋室時,應設氣閘室。單人空氣吹淋室,應按人數設台數。91反差在线工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門。空氣潔淨度等級為5級或嚴於5級的垂直單向流91反差在线宜設氣閘室。吹淋室風淋室應設在更換潔淨工作服後的相鄰部位。空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,要采取連鎖控製措施。潔淨工作服更衣室的空氣潔淨度等級宜低於相鄰91反差在线的空氣潔淨度等級。
不同等級的91反差在线之間的靜壓差應大於等於 5Pa。91反差在线與室外的靜壓差應大於 10Pa。91反差在线與非91反差在线之間的靜壓差應大於 5Pa。
